蒸鍍(du)反射鏡

蒸(zhēng)鍍反射鏡(jìng)

所屬分類(lei)：蒸鍍反射(shè)鏡
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發布(bù)日期：2025-12-07 16:04:23

我要(yào)詢價

産品(pin)概述
性能(neng)特點
技術(shu)參數

　　蒸鍍(dù)的物理過(guo)程包括：沉(chén)積材料蒸(zheng)發或升華(huá)爲氣态粒(lì)子→氣态粒(li)子快速從(cóng)蒸發源向(xiàng)基片表面(mian)輸送→氣态(tài)粒子附着(zhe)在基片表(biǎo)♍面形核、長(zhǎng)大成固體(ti)薄膜→薄膜(mó)原子重構(gou)或産生化(hua)學鍵合。

　　将(jiang)基片放入(ru)真空室内(nèi)，以電阻、電(diàn)子束、激光(guāng)等方法加(jiā)熱膜料，使(shi)膜料蒸發(fā)或升華，氣(qi)化爲具有(yǒu)一定能量(liàng)（0.1～0.3eV）的🛀粒子（原(yuan)子、分子或(huò)原子團）。氣(qì)态粒子以(yi)基本無碰(pèng)撞的🔆直線(xian)運✉️動飛速(su)傳送至基(ji)片，到達基(jī)片表面的(de)粒子一部(bù)分被反射(shè)，另一部分(fen)吸附在♌基(jī)片上并💜發(fā)生表面擴(kuo)散，沉積原(yuan)子之間産(chǎn)生二💁維碰(pèng)撞，形成簇(cù)團，有的可(ke)能在表面(mian)短時停留(liu)後又蒸發(fā)。